The Use of Electron-Beam Lithography for Localized Micro-Beam Irradiations
Y. Gonzalez-Velo
(1)
,
J. Boch
(1, 2)
,
N. J.-H. Roche
(1)
,
C. Deneau
(1)
,
J.-R. Vaillé
(1, 2, 3)
,
L. Dusseau
(1, 2)
,
Frédéric Saigné
(1, 2)
,
J. Mekki
(4, 1)
,
F. Pichot
(5)
,
S. Perez
(6)
,
E. Lorfèvre
(7)
,
R. D. Schrimpf
(8)
1
IES -
Institut d’Electronique et des Systèmes
2 RADIAC - Radiations et composants
3 UNIMES - Université de Nîmes
4 CERN - European Organization for Nuclear Research
5 ICGM ICMMM - Institut Charles Gerhardt Montpellier - Institut de Chimie Moléculaire et des Matériaux de Montpellier
6 CERMAV - Centre de Recherches sur les Macromolécules Végétales
7 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]
8 Vanderbilt University [Nashville]
2 RADIAC - Radiations et composants
3 UNIMES - Université de Nîmes
4 CERN - European Organization for Nuclear Research
5 ICGM ICMMM - Institut Charles Gerhardt Montpellier - Institut de Chimie Moléculaire et des Matériaux de Montpellier
6 CERMAV - Centre de Recherches sur les Macromolécules Végétales
7 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]
8 Vanderbilt University [Nashville]
J. Boch
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18222
- IdHAL : jerome-boch
- ORCID : 0000-0002-5660-7501
- IdRef : 076170632
J.-R. Vaillé
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19297
- IdHAL : jean-roch-vaille
- ORCID : 0000-0003-1367-0225
- IdRef : 079304702
L. Dusseau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21031
- IdHAL : laurent-dusseau
- IdRef : 107779064
Frédéric Saigné
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19534
- IdHAL : frederic-saigne
- IdRef : 110480821
S. Perez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 758133
- ORCID : 0000-0002-1494-0795
E. Lorfèvre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6087
- IdHAL : matthieu-kretzschmar
- ORCID : 0000-0001-5796-6138
- IdRef : 070177910