Micro-résonateurs intégrés pour des applications capteurs
Résumé
Les micro-résonateurs sont devenus des éléments clés de la conception de capteurs optiques intégrés grâce à leur grande capacité d'intégration. Ils sont aussi facilement réalisables par un procédé à bas coût avec des matériaux polymères. Dans ce contexte, des micros-résonateurs intégrés sur substrat de silicium ont été fabriqués et étudiés pour des applications capteurs. Ces capteurs ont été mis en oeuvre avec des matériaux polymères, la SU8 pour le coeur et le PMATRIFE pour la gaine inférieure. Différents superstrats comme l'eau et l'eau glucosée avec différentes concentrations de glucose ont été étudiés. Une sensibilité de 115 nm/RIU à 1.55 µm a été obtenue lors des premières expériences de détection réalisées.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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