%0 Conference Paper %F Poster %T Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films %+ Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %A Marlec, Florent %A Le Gendre, Laurent %A Le Paven, Claire %A Cheviré, François %A Benzerga, Ratiba %A Tessier, Franck %A Chevaucherie, M. %A Sharaiha, Ala %< avec comité de lecture %B 9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017) %C Sapporo, Japan %8 2017-08-27 %D 2017 %Z Engineering Sciences [physics]Conference poster %G English %L hal-01588050 %U https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-01588050 %~ UNIV-NANTES %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IETR %~ ISCR %~ SCR_VC %~ IETR_MF %~ CENTRALESUPELEC %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-MATH-STIC %~ UR1-SDLM %~ UR1-UFR-ISTIC %~ IETR-CUTE %~ IETR-FUNMAT %~ IVER %~ IETR-ADH %~ TEST-UNIV-RENNES %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ TEST-HALCNRS %~ UR1-MATH-NUM %~ UR1-MMS %~ IETR-STAR %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022