Cryoetching mechanisms and STiGer process evaluation - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01561210 , version 1 (12-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01561210 , version 1

Citer

Remi Dussart, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher. Cryoetching mechanisms and STiGer process evaluation. International Symposium on Dry Process 2016 (DPS 2016), Nov 2016, Sapporo, Japan. ⟨hal-01561210⟩

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CNRS UNIV-ORLEANS
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