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Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2017

Micromirrors with controlled amplitude and phase

Julien Lumeau
Cihan Koc
  • Fonction : Auteur
Thomas Begou
  • Fonction : Auteur

Résumé

This paper describes the fabrication of circular micro-mirrors with diameters between 50 and 150 µm with controlled amplitude and phase. Design, manufacturing and characterization method are presented.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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Dates et versions

hal-01558472 , version 1 (13-03-2019)

Identifiants

Citer

Julien Lumeau, Cihan Koc, Thomas Begou. Micromirrors with controlled amplitude and phase. Applied optics, 2017, 56 (20), pp.5655-5660. ⟨10.1364/AO.56.005655⟩. ⟨hal-01558472⟩
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