Photonique intégrée sur polymère plasma organo-siliciés (SiOxCyHz) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01552424 , version 1 (02-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01552424 , version 1

Citer

Thomas Begou, Antoine Goullet, Agnès A. Granier, Etienne Gaviot, Christophe Cardinaud, et al.. Photonique intégrée sur polymère plasma organo-siliciés (SiOxCyHz). Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM, 2006, Rennes France. ⟨hal-01552424⟩
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