Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N. - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2012

Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N.

Y. Lu
  • Fonction : Auteur
D. Benzeggouta
  • Fonction : Auteur
Institut des Nanosciences de Paris
Couches nanométriques : formation, interfaces, défauts
H. Nguyen
Ratiba Benzerga
C. Le Paven
  • Fonction : Auteur
L. Le Gendre
  • Fonction : Auteur
A. Sharaiha
  • Fonction : Auteur
C. Delaveaud
  • Fonction : Auteur
Ian Vickridge
Institut des Nanosciences de Paris
Couches nanométriques : formation, interfaces, défauts
CV
F. Tessier
  • Fonction : Auteur
François Cheviré
CV

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Ian Vickridge  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01540370

Soumis le : vendredi 16 juin 2017-11:52:39

Dernière modification le : jeudi 15 février 2024-03:31:36

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01540370 , version 1 (16-06-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01540370 , version 1

Citer

Y. Lu, D. Benzeggouta, H. Nguyen, Ratiba Benzerga, C. Le Paven, et al.. Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N. . Ion Beam Analysis Francophone, 2012, Cadarache, France. 2012. ⟨hal-01540370⟩

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