Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces
Résumé
Le transport du panache plasma créé par ablation laser femtoseconde d une cible de carbone est étudié par imagerie ultra-rapide. L énergie cinétique des particules émettrices ainsi détectées est voisine de 2 keV pour les plus rapides d entre elles (détectables pour des délais inférieurs à 100 ns après l impulsion laser), et de 100 eV pour la composante la plus lumineuse du panache plasma (détectable jusqu à 1 µs après l impulsion laser). Des couches minces de DLC ont également été élaborées par ablation laser femtoseconde. Le film obtenu à une fluence de 0.5 J/cm2 présente par exemple un taux d hybridation sp3 du carbone voisin de 55 %.