Monolithic integration of epitaxial BaTiO3 on Si and SiGe for ferroelectric devices
Lucie Mazet
(1)
,
Romain Bachelet
(1)
,
Guillaume Saint-Girons
(1)
,
David Albertini
(2)
,
Brice Gautier
(3)
,
M. Frank
(4)
,
J. Jordan-Sweet
,
I. Lauer
,
V. Narayanan
(4)
,
Martin Hÿtch
(5)
,
Sylvie Schamm-Chardon
(5, 6)
,
Catherine Dubourdieu
(7)
1
INL - H&N -
INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
4 IBM T.J. Watson Research Center
5 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
6 CEMES-MEM - Matériaux et dispositifs pour l'Electronique et le Magnétisme
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
2 LPM - Laboratoire de physique de la matière
3 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
4 IBM T.J. Watson Research Center
5 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
6 CEMES-MEM - Matériaux et dispositifs pour l'Electronique et le Magnétisme
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
Romain Bachelet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20950
- IdHAL : romain-bachelet
- ORCID : 0000-0002-2910-0449
- IdRef : 113255810
Guillaume Saint-Girons
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20810
- IdHAL : guillaume-saint-girons
- ORCID : 0000-0002-3669-3406
- IdRef : 071451595
David Albertini
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738192
- IdHAL : dalbertini
- IdRef : 25313577X
Brice Gautier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15263
- IdHAL : brice-gautier
- ORCID : 0000-0002-0705-9967
- IdRef : 098448617
J. Jordan-Sweet
- Fonction : Auteur
I. Lauer
- Fonction : Auteur
Martin Hÿtch
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17686
- IdHAL : martin-hytch
- ORCID : 0000-0002-9099-0129
- IdRef : 131509829
Sylvie Schamm-Chardon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18555
- IdHAL : sylvie-schamm-chardon
- ORCID : 0000-0001-5534-8475
- IdRef : 143045121