Comparative thermal characterization of nanophononic membrane strips by Raman thermometry, scanning thermal microscopy, and an electro-thermal method
M. Massoud
(1, 2)
,
V. Lacatena
(3, 4)
,
M. Haras
(3, 4)
,
S. Didenko
,
P.O. Chapuis
(1)
,
J.M. Bluet
(2)
,
J.F. Robillard
(3)
,
Emmanuel Dubois
(5)
1
CETHIL -
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
2 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX
2 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX
S. Didenko
- Fonction : Auteur
J.M. Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448
J.F. Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110
Emmanuel Dubois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738944
- IdHAL : emmanuel-dubois-iemn
- ORCID : 0000-0002-0347-010X
- IdRef : 134290291