Thermal Conductivity Reduction in Fully Suspended and Periodically Patterned Membranes Measured by Electro-Thermal Method
V. Lacatena
(1, 2)
,
M. Haras
(1, 2)
,
J.F. Robillard
(1)
,
T. Skotnicki
(2)
,
Emmanuel Dubois
(3)
,
M. Massoud
(4, 5)
,
P.-O. Chapuis
(4)
,
J.M. Bluet
(5)
,
A. Scibetta
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
3 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
2 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
3 PHENIX - PHysicochimie des Electrolytes et Nanosystèmes InterfaciauX
4 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
5 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
J.F. Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110
Emmanuel Dubois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738944
- IdHAL : emmanuel-dubois-iemn
- ORCID : 0000-0002-0347-010X
- IdRef : 134290291
P.-O. Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266
J.M. Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448
A. Scibetta
- Fonction : Auteur