Grazing incidence x-ray scattering investigation of Si surface patterned with buried dislocation networks - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2003

Grazing incidence x-ray scattering investigation of Si surface patterned with buried dislocation networks

Domaines

Chimie-Physique [physics.chem-ph] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Electromagnétisme Optique / photonique

Rémi Lazzari  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01442883

Soumis le : samedi 21 janvier 2017-15:12:25

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Dates et versions

hal-01442883 , version 1 (21-01-2017)

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Citer

F. Leroy, J. Eymery, D. Buttard, G. Renaud, R. Lazzari, et al.. Grazing incidence x-ray scattering investigation of Si surface patterned with buried dislocation networks. Applied Physics Letters, 2003, 82 (16), pp.2598 - 2600. ⟨10.1063/1.1568545⟩. ⟨hal-01442883⟩

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