Microfabricated test structures for thermal gas sensors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Microfabricated test structures for thermal gas sensors

Domaines

Electronique
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01422456 , version 1 (26-12-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01422456 , version 1

Citer

Matthieu Denoual, Mathieu Pouliquen, Didier Robbes, Olivier de Sagazan, Grand Julien, et al.. Microfabricated test structures for thermal gas sensors. ICMTS, 2016, Yokohama, Japan. ⟨hal-01422456⟩
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