Microfabricated test structures for thermal gas sensors
Matthieu Denoual
(1)
,
Mathieu Pouliquen
(2)
,
Didier Robbes
(1)
,
Olivier de Sagazan
(3)
,
Grand Julien
,
Awala Hussein
,
Svetlana Mintova
(4)
,
Inoue Shu
,
Agnès Mita-Tixier
(5)
,
Yoshio Mita
(6)
1
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
2 Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072
3 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4 LCS - Laboratoire catalyse et spectrochimie
5 LIMMS - Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems
6 iSML - intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory
2 Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072
3 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4 LCS - Laboratoire catalyse et spectrochimie
5 LIMMS - Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems
6 iSML - intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory
Matthieu Denoual
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173538
- IdHAL : matthieu-denoual
- ORCID : 0000-0002-6845-3554
- IdRef : 058612041
Mathieu Pouliquen
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20269
- IdHAL : mathieu-pouliquen
- ORCID : 0000-0002-2186-986X
- IdRef : 078622638
Grand Julien
- Fonction : Auteur
Awala Hussein
- Fonction : Auteur
Svetlana Mintova
- Fonction : Auteur
- PersonId : 179618
- IdHAL : svetlana-mintova
- ORCID : 0000-0002-0738-5244
- IdRef : 129918814
Inoue Shu
- Fonction : Auteur