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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Nanoparticle formation from thin film sputtering in low pressure plasmas

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01415971 , version 1 (13-12-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01415971 , version 1

Citer

Maxime Mikikian, Safa Labidi, Erik von Wahl, Jean-François Lagrange, Thomas Lecas, et al.. Nanoparticle formation from thin film sputtering in low pressure plasmas. Workshop "Plasma surface interaction for technological applications", Jul 2016, Kiel, Germany. ⟨hal-01415971⟩
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