A Test Structure Set for on-wafer 3D-TRL calibration - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

A Test Structure Set for on-wafer 3D-TRL calibration

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

sebastien fregonese  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01399900

Soumis le : lundi 21 novembre 2016-10:32:04

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01399900 , version 1 (21-11-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01399900 , version 1

Citer

Manuel Potéreau, Arnaud Curutchet, Rosario d'Esposito, Magali de Matos, Sebastien Fregonese, et al.. A Test Structure Set for on-wafer 3D-TRL calibration. 2016 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), Mar 2016, Yokohama, Japan. ⟨hal-01399900⟩

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