Procédé de fabrication d'un micro-générateur mécano-électrique flexible et micro-générateur correspondant
Résumé
Il est proposé un procédé de fabrication d'un micro-générateur mécano-électrique , comprenant les étapes suivantes : - dépôt (200), sur un substrat mince électriquement conducteur formant une électrode inférieure, d'une couche mince de matériau piézoélectrique, dite couche active ; - dépôt (220), sur la couche active, d'une couche mince de matériau électriquement conducteur formant une électrode supérieure, de façon à former une structure de base en couches minces ; - encapsulation (230) de ladite structure de base dans une couche de revêtement mince à base d'au moins un matériau polymère élastiquement déformable.