Crystal Orientation in Aluminum Nitride Films on Molybdenum Electrodes for Acoustic Micro-resonators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Crystal Orientation in Aluminum Nitride Films on Molybdenum Electrodes for Acoustic Micro-resonators

Domaines

Acoustique [physics.class-ph] Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Aurelian CRUNTEANU  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01343559

Soumis le : vendredi 8 juillet 2016-16:15:11

Dernière modification le : lundi 30 septembre 2024-15:52:25

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Dates et versions

hal-01343559 , version 1 (08-07-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01343559 , version 1

Citer

Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Matthieu Chatras, Pierre Blondy, Aurelian Crunteanu. Crystal Orientation in Aluminum Nitride Films on Molybdenum Electrodes for Acoustic Micro-resonators. Electroceramics XV, Limoges, France, 27-29 Juin 2016, Jun 2016, Limoges, France. ⟨hal-01343559⟩

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