Wafer Scale Formation of Monocrystalline Silicon-Based Mie Resonators via Silicon-on-Insulator Dewetting
Marco Abbarchi
(1)
,
Meher Naffouti
(1)
,
Benjamin Vial
(2)
,
Abdelmalek Benkouider
(1)
,
Laurent Lermusiaux
(3)
,
Luc Favre
(1)
,
Antoine Ronda
(1)
,
Sébastien Bidault
(3)
,
Isabelle Berbezier
(1)
,
Nicolas Bonod
(2)
Marco Abbarchi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19471
- IdHAL : marco-abbarchi
- ORCID : 0000-0002-2760-4766
- IdRef : 23832284X
Laurent Lermusiaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 773302
- ORCID : 0000-0003-3024-0649
Luc Favre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5307
- IdHAL : luc-favre
- ORCID : 0000-0002-9010-0085
- IdRef : 086577832
Sébastien Bidault
- Fonction : Auteur
- PersonId : 178173
- IdHAL : sebastien-bidault
- ORCID : 0000-0001-9133-3051
- IdRef : 083797238
Nicolas Bonod
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738432
- IdHAL : nicolas-bonod
- ORCID : 0000-0002-0187-4688
- IdRef : 084650370