Low-Damage etching of highly porous OSG low-k dielectrics
Jean-Francois de Marneffe
(1)
,
Liping Zhang
(1)
,
Mikhail Baklanov
(1)
,
Koichi Yatsuda
(2)
,
Kaoru Maekawa
(2)
,
Cooke Mike
(3)
,
Andy Goodyear
(3)
,
Christian Dussarrat
(4)
,
Remi Dussart
(5)
,
Thomas Tillocher
(5)
,
Floriane Leroy
(5)
,
Philippe Lefaucheux
(5)
,
Mitsuhiro Watanabe
(1)
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Thomas Tillocher
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : thomas-tillocher
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- IdRef : 120339072
Floriane Leroy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1354304
- IdRef : 164839542
Philippe Lefaucheux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874204