PONAME POsitionnement NAnométrique Multi-échellE - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2011

PONAME POsitionnement NAnométrique Multi-échellE

Résumé

PONAME vise à répondre à un besoin croissant en nanotechnologies, à savoir nano-structurer et nano-caractériser à des échelles macroscopiques. Pour cela il faut disposer d’un système de positionnement 2D avec des précisions nanométriques sur des gammes millimétriques. Ce système doit être souple d’emploi pour s’adapter aisément sur des gros instruments.

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Luc Chassagne  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01273217

Soumis le : vendredi 12 février 2016-10:37:45

Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:46:18

Archivage à long terme le : samedi 12 novembre 2016-19:17:28

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Dates et versions

hal-01273217 , version 1 (12-02-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01273217 , version 1

Citer

Luc Chassagne, Pascal Ruaux, Suat Topsu, Barthélemy Cagneau, Yasser Alayli, et al.. PONAME POsitionnement NAnométrique Multi-échellE. Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies 2011, 2011, Strasbourg, France. 2011. ⟨hal-01273217⟩

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