Caractérisation de matériaux à l’aide d’une cavité Klystron : Détermination des Caractéristiques Diélectriques et de l’épaisseur de l’échantillon
Résumé
L’utilisation de la cavité de type klystron dans le domaine microonde présente certains avantages liés notamment aux dimensions de la structure qui sont très inférieures à la longueur d’onde. Dans cet article nous présentons une cavité munie d’un système de couplage original conduisant à une réponse en fréquence proche de celle des résonateurs piézoélectriques. Ce type de réponse permet lors de la caractérisation des matériaux de remonter à la fois à leur permittivité complexe et à leur épaisseur. La bonne connaissance des épaisseurs notamment dans le cas des couches minces permet d’obtenir des caractéristiques diélectriques très précises.