Actuation and sensing integration challenges at the microscale: the Gordian Knot of the resonant BioMEMS realm - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Actuation and sensing integration challenges at the microscale: the Gordian Knot of the resonant BioMEMS realm

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01228741

Soumis le : vendredi 13 novembre 2015-16:32:00

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-01228741 , version 1 (13-11-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01228741 , version 1

Citer

Liviu Nicu, Thomas Alava, Fabrice Mathieu, Cédric Ayela, Caroline Soyer, et al.. Actuation and sensing integration challenges at the microscale: the Gordian Knot of the resonant BioMEMS realm. 2010 IEEE International Frequency Control Symposium, 2010, San Francisco, United States. ⟨hal-01228741⟩

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