Giant electro-mechanical transduction in all-organic MEMS for physical and chemical sensors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Giant electro-mechanical transduction in all-organic MEMS for physical and chemical sensors

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01224585

Soumis le : mercredi 4 novembre 2015-20:17:35

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-01224585 , version 1 (04-11-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01224585 , version 1

Citer

Damien Thuau, Mamatimin Abbas, Guillaume Wantz, Sylvain Chambon, Pascal Tardy, et al.. Giant electro-mechanical transduction in all-organic MEMS for physical and chemical sensors. IEEE MEMS 2016, 2016, Shangai, China. ⟨hal-01224585⟩

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