Les micro-systèmes (MEMS) sont basés sur le principe de conversion électromécanique et impliquent généralement d’autres phénomènes physiques. De plus, la réduction de la taille et le degré d’intégration de ce genre de systèmes ne cessent d’augmenter. Leur conception nécessite ainsi une approche à plus haut niveau prenant en compte les problématiques de logiciel et de matériel associés, notamment pour la commande. Cependant les équipes impliquées dans ce processus ne disposent que de peu d’outils facilitant leur collaboration et accélérant ces phases de spécifications. Ce travail s’intéresse donc à adapter la méthodologie traditionnellement appliquée aux dispositifs MEMS à un flux de conception haut-niveau. La méthode proposée utilise SystemC-AMS, bibliothèque initialement conçue pour la co-conception de logiciel et de matériel. A partir de modèles d’ordre réduit de dispositifs MEMS, l’objectif est de satisfaire les critères de performance d’une simulation haut-niveau en termes de rapidité, de précision et de reconfiguration.