Cryogenic etching of submicronic features in silicon using masks based on porous polymer films
Thomas Tillocher
(1)
,
Alexane Vital
(1, 2)
,
Marylène Vayer
(2)
,
Nicolas Gosset
(1)
,
Philippe Lefaucheux
(1)
,
Christophe Sinturel
(2)
,
Mohamed Boufnichel
(3)
,
Remi Dussart
(1)
Thomas Tillocher
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7479
- IdHAL : thomas-tillocher
- ORCID : 0000-0002-9160-5595
- IdRef : 120339072
Marylène Vayer
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751593
- IdHAL : marylene-vayer
Nicolas Gosset
- Fonction : Auteur
- PersonId : 942269
Philippe Lefaucheux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874204
Christophe Sinturel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751459
- IdHAL : christophe-sinturel
- ORCID : 0000-0002-9528-2797
- IdRef : 167089854
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart