Niobium Nitride Thin Films deposited by High Temperature Chemical Vapor Deposition
Florian Mercier
(1)
,
S. Coindeau
(1)
,
S. Lay
(1)
,
A. Crisci
(1)
,
M. Benz
(1)
,
T. Encinas
,
R. Boichot
(1)
,
A. Mantoux
(1)
,
Carmen Jimenez
(2)
,
F. Weiss
,
E. Blanquet
(1)
Florian Mercier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751148
- IdHAL : florian-mercier
T. Encinas
- Fonction : Auteur
Carmen Jimenez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 169812
- IdHAL : carmen-jimenez
- ORCID : 0000-0002-9601-1825
- IdRef : 193257114
F. Weiss
- Fonction : Auteur
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739157
- IdHAL : elisabeth-blanquet
- ORCID : 0000-0001-6467-9110
- IdRef : 135652669