MEMS monolithiques. - Archive ouverte HAL
Chapitre D'ouvrage Année : 2000
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01105274 , version 1 (20-01-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01105274 , version 1

Citer

Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Yves Bertrand, Pascal Nouet. MEMS monolithiques.. Hermès science publication, 1 (1), 2000, Nano et Micro Technologies, micro-capteurs et microsystèmes intégrés, 9-782746-202422. ⟨hal-01105274⟩
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