Chapitre D'ouvrage
Année : 2000
Vincent Beroulle : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01105274
Soumis le : mardi 20 janvier 2015-10:09:59
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:23:24
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01105274 , version 1
Citer
Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Yves Bertrand, Pascal Nouet. MEMS monolithiques.. Hermès science publication, 1 (1), 2000, Nano et Micro Technologies, micro-capteurs et microsystèmes intégrés, 9-782746-202422. ⟨hal-01105274⟩
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