One-step firing for electroded PZT thick-films applied to MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Smart Materials and Structures Année : 2015
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Dates et versions

hal-01101677 , version 1 (09-01-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01101677 , version 1

Citer

Hélène Debéda, Pierrick Clément, E. Llobet, Claude Lucat. One-step firing for electroded PZT thick-films applied to MEMS. Smart Materials and Structures, 2015, 24, pp.025020. ⟨hal-01101677⟩
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