Sheet resistance measurement on AlGaN/GaN wafers and dispersion study
J. Lehmann
(1, 2)
,
Cédric Leroux
(3)
,
M. Charles
,
A. Torres
(4)
,
E. Morvan
(4)
,
D. Blachier
,
G. Ghibaudo
(5)
,
E. Bano
(5)
,
G. Reimbold
1
IPGS -
Institut de physique du globe de Strasbourg
2 EOST - Ecole et Observatoire des Sciences de la Terre
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 EOST - Ecole et Observatoire des Sciences de la Terre
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
M. Charles
- Fonction : Auteur
- PersonId : 744394
- IdHAL : mathieu-charles
- ORCID : 0000-0001-6491-1928
- IdRef : 143190776
D. Blachier
- Fonction : Auteur
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099
E. Bano
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170883
- IdHAL : edwige-bano
- IdRef : 114975981
G. Reimbold
- Fonction : Auteur