Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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https://hal.science/hal-01057586
Soumis le : dimanche 24 août 2014-12:31:28
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:28:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01057586 , version 1
Citer
Alexane Vital, Thomas Tillocher, Remi Dussart, Marylène Vayer, Christophe Sinturel. Submicrometric structured silicon surfaces obtained from polymer blend film by silica replication and cryogenic plasma etching. Plasma Etch and Strip in Microtechnology, May 2014, Grenoble, France. ⟨hal-01057586⟩
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