Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Plasma Sources Science and Technology Année : 2014

Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01021943

Soumis le : jeudi 10 juillet 2014-03:23:27

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:28:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01021943 , version 1 (10-07-2014)

Identifiants

Citer

Mukesh Kulsreshath, Judith Golda, V. Schulz-von Der Gathen, Remi Dussart. Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip. Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23, pp.045012. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045012⟩. ⟨hal-01021943⟩

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