Conception, réalisation et test d'un micro-capteur de pression Pirani pour un fonctionnement au voisinage de la pression atmosphérique
Résumé
Cette étude concerne la conception, la réalisation et le test d'un micro-capteur de pression basé sur l'effet Pirani. La structure consiste en un fil chaud suspendu par des ponts d'oxyde de proche en proche sur des cavités de taille nanométrique. Cela permet d'obtenir une dynamique au voisinage de la pression atmosphérique. Dans cette étude, nous présenterons les résultats expérimentaux confrontés à des résultats théoriques obtenues par simulation élément fini multiphysique.