Functional dielectric oxide and oxynitride perovskite thin films deposited by reactive magnetron sputtering
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Laurent Le Gendre
(1)
,
Yu Lu
(1)
,
Viet Hung Nguyen
(1)
,
Franck Tessier
(2)
,
François Cheviré
(2)
,
Simon Jacq
(1)
,
Stéphane Rioual
(3)
,
Ala Sharaiha
(1)
,
Christophe Delaveaud
(4)
,
Xavier Castel
(1)
1
IETR -
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
3 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
3 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Claire Le Paven-Thivet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 936698
Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
- ORCID : 0000-0002-5755-0041
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Franck Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
François Cheviré
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386
Stéphane Rioual
- Fonction : Auteur
- PersonId : 175394
- IdHAL : stephane-rioual
- ORCID : 0000-0002-8797-5956
- IdRef : 163587965
Christophe Delaveaud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 844433