Scaling of high-kappa/metal-gate TriGate SOI nanowire transistors down to 10 nm width - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2013

Scaling of high-kappa/metal-gate TriGate SOI nanowire transistors down to 10 nm width

R. Coquand
  • Fonction : Auteur
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
S. Barraud
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Génie Civil et d'Ingénierie Environnementale
M. Casse
  • Fonction : Auteur
Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
P. Leroux
  • Fonction : Auteur
C. Vizioz
  • Fonction : Auteur
C. Comboroure
  • Fonction : Auteur
P. Perreau
  • Fonction : Auteur
E. Ernst
  • Fonction : Auteur
M. P. Samson
  • Fonction : Auteur
V. Maffini-Alvaro
  • Fonction : Auteur
C. Tabone
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
S. Barnola
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Daniela Munteanu
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
G. Ghibaudo
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
CV
S. Monfray
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
F. Boeuf
  • Fonction : Auteur
T. Poiroux
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Brigitte Rasolofoniaina  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01002171

Soumis le : jeudi 5 juin 2014-16:55:39

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:56:29

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Dates et versions

hal-01002171 , version 1 (05-06-2014)

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Citer

R. Coquand, S. Barraud, M. Casse, P. Leroux, C. Vizioz, et al.. Scaling of high-kappa/metal-gate TriGate SOI nanowire transistors down to 10 nm width. Solid-State Electronics, 2013, 88, pp.32-36. ⟨10.1016/j.sse.2013.04.006⟩. ⟨hal-01002171⟩

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