<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<TEI xmlns="http://www.tei-c.org/ns/1.0" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:hal="http://hal.archives-ouvertes.fr/" xmlns:gml="http://www.opengis.net/gml/3.3/" xmlns:gmlce="http://www.opengis.net/gml/3.3/ce" version="1.1" xsi:schemaLocation="http://www.tei-c.org/ns/1.0 http://api.archives-ouvertes.fr/documents/aofr-sword.xsd">
  <teiHeader>
    <fileDesc>
      <titleStmt>
        <title>HAL TEI export of hal-00994834</title>
      </titleStmt>
      <publicationStmt>
        <distributor>CCSD</distributor>
        <availability status="restricted">
          <licence target="https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/">CC0 1.0 - Universal</licence>
        </availability>
        <date when="2026-05-08T04:11:17+02:00"/>
      </publicationStmt>
      <sourceDesc>
        <p part="N">HAL API Platform</p>
      </sourceDesc>
    </fileDesc>
  </teiHeader>
  <text>
    <body>
      <listBibl>
        <biblFull>
          <titleStmt>
            <title xml:lang="fr">Caractérisation par acoustique picoseconde des propriétés mécaniques du PZT déposé en couches minces pour des applications MEMS</title>
            <author role="aut">
              <persName>
                <forename type="first">Fabrice</forename>
                <surname>Casset</surname>
              </persName>
              <idno type="halauthorid">352248-0</idno>
              <affiliation ref="#struct-1296"/>
              <affiliation ref="#struct-40214"/>
            </author>
            <editor role="depositor">
              <persName>
                <forename>Collection</forename>
                <surname>IEMN</surname>
              </persName>
              <email type="md5">f3c4c8abd4ffdc9885dbd6e4ca535087</email>
              <email type="domain">iemn.fr</email>
            </editor>
          </titleStmt>
          <editionStmt>
            <edition n="v1" type="current">
              <date type="whenSubmitted">2014-05-22 11:29:41</date>
              <date type="whenModified">2024-09-03 11:16:05</date>
              <date type="whenReleased">2014-05-22 11:29:41</date>
              <date type="whenProduced">2014</date>
            </edition>
            <respStmt>
              <resp>contributor</resp>
              <name key="102579">
                <persName>
                  <forename>Collection</forename>
                  <surname>IEMN</surname>
                </persName>
                <email type="md5">f3c4c8abd4ffdc9885dbd6e4ca535087</email>
                <email type="domain">iemn.fr</email>
              </name>
            </respStmt>
          </editionStmt>
          <publicationStmt>
            <distributor>CCSD</distributor>
            <idno type="halId">hal-00994834</idno>
            <idno type="halUri">https://hal.science/hal-00994834</idno>
            <idno type="halBibtex">casset:hal-00994834</idno>
            <idno type="halRefHtml">2014</idno>
            <idno type="halRef">2014</idno>
            <availability status="restricted"/>
          </publicationStmt>
          <seriesStmt>
            <idno type="stamp" n="CEA">CEA - Commissariat à l'énergie atomique</idno>
            <idno type="stamp" n="CNRS">CNRS - Centre national de la recherche scientifique</idno>
            <idno type="stamp" n="UNIV-VALENCIENNES">Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis</idno>
            <idno type="stamp" n="IEMN">Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie</idno>
            <idno type="stamp" n="DRT" corresp="CEA">Direction de la recherche technologique</idno>
            <idno type="stamp" n="LETI" corresp="CEA">Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information</idno>
            <idno type="stamp" n="UNIV-LILLE">Université de Lille</idno>
            <idno type="stamp" n="CEA-GRE" corresp="CEA">CEA Grenoble</idno>
            <idno type="stamp" n="TEST-UPHF">TEST-UPHF</idno>
          </seriesStmt>
          <notesStmt>
            <note type="description">Thèse de doctorat en Micro et Nanotechnologies, Acoustique et Télécommunications, Université de Lille 1, 16 juin</note>
            <note type="audience" n="1">Not set</note>
            <note type="popular" n="0">No</note>
          </notesStmt>
          <sourceDesc>
            <biblStruct>
              <analytic>
                <title xml:lang="fr">Caractérisation par acoustique picoseconde des propriétés mécaniques du PZT déposé en couches minces pour des applications MEMS</title>
                <author role="aut">
                  <persName>
                    <forename type="first">Fabrice</forename>
                    <surname>Casset</surname>
                  </persName>
                  <idno type="halauthorid">352248-0</idno>
                  <affiliation ref="#struct-1296"/>
                  <affiliation ref="#struct-40214"/>
                </author>
              </analytic>
              <monogr>
                <idno type="localRef">Thèse #12284</idno>
                <imprint>
                  <date type="datePub">2014</date>
                </imprint>
              </monogr>
            </biblStruct>
          </sourceDesc>
          <profileDesc>
            <langUsage>
              <language ident="fr">French</language>
            </langUsage>
            <textClass>
              <classCode scheme="halTypology" n="OTHER">Other publications</classCode>
              <classCode scheme="halOldTypology" n="OTHER">Other publications</classCode>
              <classCode scheme="halTreeTypology" n="OTHER">Other publications</classCode>
            </textClass>
            <abstract xml:lang="fr">
              <p>Les MEMS sont aujourd'hui une réalité économique et sont d'ores et déjà utilisés dans un grand nombre d'objets de notre quotidien. Ces composants peuvent utiliser un actionnement piézoélectrique, notamment à base de PZT déposé en couches minces, du fait de son fort coefficient piézoélectrique. Pour dimensionner au mieux et de manière prédictive ces MEMS à base de PZT, il est important de connaitre les propriétés mécaniques du PZT, matériau complexe. Nous avons utilisé l'acoustique picoseconde, technique qui permet de sonder la matière avec des ondes acoustiques générées par des impulsions laser ultra-courtes. Elle permet de transposer à l'échelle nanométrique le principe du sonar. Lors de cette thèse nous avons étudié le PZT en couches minces par acoustique picoseconde. Nous avons pu extraire le module d'Young et le coefficient de Poisson sans faire l'approximation de l'un ou de l'autre. Nous avons également étudié la relaxation des parois de domaines, en mettant en oeuvre des mesures d'acoustique picoseconde en fréquence. A l'aide des propriétés mécaniques du PZT, issues des mesures d'acoustique picoseconde, nous avons pu extraire le coefficient piézoélectrique par la comparaison de modèles et de mesures sur une poutre encastrée-libre avec un actionneur à base de PZT. Enfin, nous avons appliqué ces données d'entrée au dimensionnement de dalles haptiques utilisant des actionneurs PZT. Le très bon accord entre la caractérisation de ces dispositifs et les modèles mis en place prouve l'apport de l'acoustique picoseconde pour le dimensionnement de MEMS.</p>
            </abstract>
          </profileDesc>
        </biblFull>
      </listBibl>
    </body>
    <back>
      <listOrg type="structures">
        <org type="laboratory" xml:id="struct-1296" status="OLD">
          <idno type="IdRef">138736421</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0004 0368 3863</idno>
          <idno type="RNSR">199812849E</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02q4res37</idno>
          <orgName>Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520</orgName>
          <orgName type="acronym">IEMN</orgName>
          <date type="start">1992-01-01</date>
          <date type="end">2020-12-31</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>[Univ. Lille, CNRS, Ecole Centrale Lille, Yncréa-ISEN, UVHC] –– Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.iemn.fr/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-120930" type="direct"/>
            <relation active="#struct-300066" type="direct"/>
            <relation active="#struct-300279" type="direct"/>
            <relation active="#struct-374570" type="direct"/>
            <relation name="UMR8520" active="#struct-441569" type="direct"/>
            <relation active="#struct-1001263" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="laboratory" xml:id="struct-40214" status="VALID">
          <idno type="IdRef">026506351</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0001 2184 7102</idno>
          <idno type="RNSR">196718590E</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/04mf0wv34</idno>
          <idno type="Wikidata">Q1023249</idno>
          <orgName>Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information</orgName>
          <orgName type="acronym">CEA-LETI</orgName>
          <date type="start">1967-01-01</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www-leti.cea.fr/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation name="DRT" active="#struct-440043" type="direct"/>
            <relation name="DRT" active="#struct-300016" type="indirect"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-120930" status="VALID">
          <idno type="IdRef">256304629</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122034461</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/01x441g73</idno>
          <orgName>Centrale Lille</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>École Centrale de Lille - Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://centralelille.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-300066" status="VALID">
          <orgName>Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)</orgName>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
          </desc>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-300279" status="OLD">
          <idno type="IdRef">026404079</idno>
          <idno type="ISNI">0000000107901416</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02ezch769</idno>
          <orgName>Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis</orgName>
          <orgName type="acronym">UVHC</orgName>
          <date type="start">1979-01-01</date>
          <date type="end">2019-09-08</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Campus Mont Houy59313 Valenciennes Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.uphf.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-374570" status="VALID">
          <idno type="IdRef">223446556</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0001 2242 6780</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02kzqn938</idno>
          <idno type="Wikidata">Q3551621</idno>
          <orgName>Université de Lille</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>EPE Université de Lille. -- 42 rue Paul Duez, 59000 Lille</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://www.univ-lille.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-441569" status="VALID">
          <idno type="IdRef">02636817X</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122597504</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02feahw73</idno>
          <orgName>Centre National de la Recherche Scientifique</orgName>
          <orgName type="acronym">CNRS</orgName>
          <date type="start">1939-10-19</date>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://www.cnrs.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-1001263" status="VALID">
          <idno type="IdRef">242335675</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02ezch769</idno>
          <orgName>Université Polytechnique Hauts-de-France</orgName>
          <orgName type="acronym">UPHF</orgName>
          <date type="start">2019-09-09</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Campus Mont Houy59313 Valenciennes Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.uphf.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regrouplaboratory" xml:id="struct-440043" status="VALID">
          <idno type="IdRef">067087930</idno>
          <idno type="ISNI">0000000121157881</idno>
          <idno type="RNSR">199018589D</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02ggzyd20</idno>
          <idno type="Wikidata">Q30299418</idno>
          <orgName>Direction de Recherche Technologique (CEA)</orgName>
          <orgName type="acronym">DRT (CEA)</orgName>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.drt-cea.com/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation name="DRT" active="#struct-300016" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-300016" status="VALID">
          <idno type="IdRef">026372061</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122998025</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/00jjx8s55</idno>
          <idno type="Wikidata">Q868550</idno>
          <orgName>Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives</orgName>
          <orgName type="acronym">CEA</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Centre de SaclayCentre de GrenobleCentre de Cadaracheetc</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.cea.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
      </listOrg>
    </back>
  </text>
</TEI>