Piezoelectric thin films on silicon for sensor application - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00979511 , version 1 (16-04-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00979511 , version 1

Citer

Corentin Jorel, Héloïse Colder, Didier Robbes, Alice Galdi, Laurence Méchin. Piezoelectric thin films on silicon for sensor application. MAMA-Trend: "Trends, challenges and emergent new phenomena in multi-functional materials", May 2013, sorrento, Italy. ⟨hal-00979511⟩
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