Contrôle non destructif photo-acoustique des micro-systèmes électro-mécaniques (MEMS) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00978405 , version 1 (14-04-2014)

Licence

Identifiants

  • HAL Id : hal-00978405 , version 1

Citer

Nikolay Chigarev, C. Ni, V. Tournat, Olivier Bou Matar, Vitali Goussev. Contrôle non destructif photo-acoustique des micro-systèmes électro-mécaniques (MEMS). 12e Congrès Français d'Acoustique, 2014, Poitiers, France. ⟨hal-00978405⟩
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