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Communication Dans Un Congrès Année : 2014

[Invited] MEMS research, applications and results

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00976620 , version 1 (10-04-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00976620 , version 1

Citer

S. Arscott. [Invited] MEMS research, applications and results. Workshop on Nanoscale Processing for MEMS and NEMS, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00976620⟩
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