Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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https://hal.science/hal-00976620
Soumis le : jeudi 10 avril 2014-10:59:08
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00976620 , version 1
Citer
S. Arscott. [Invited] MEMS research, applications and results. Workshop on Nanoscale Processing for MEMS and NEMS, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00976620⟩
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