Highly piezoresistive hybrid MEMS sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2014
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Dates et versions

hal-00975248 , version 1 (08-04-2014)

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Citer

Damien Thuau, Cédric Ayela, Philippe Poulin, Isabelle Dufour. Highly piezoresistive hybrid MEMS sensors. Sensors and Actuators A: Physical , 2014, 209, pp.161-168. ⟨10.1016/j.sna.2014.01.037⟩. ⟨hal-00975248⟩
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