Oxygen-induced inhibition of silicon-on-insulator dewetting - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2014

Oxygen-induced inhibition of silicon-on-insulator dewetting

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00975055 , version 1 (07-04-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00975055 , version 1

Citer

S. Curiotto, F. Leroy, F. Cheynis, Pierre Müller. Oxygen-induced inhibition of silicon-on-insulator dewetting. Applied Physics Letters, 2014, 104, pp.061603. ⟨hal-00975055⟩
49 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More