Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00954226
Soumis le : vendredi 28 février 2014-17:07:17
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00954226 , version 1
Citer
H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, F. Bendriaa, France Le Bihan, et al.. Silicon films deposited by LPCVD for microsystems. Polyse 2002, Sep 2002, Nara, Japan. ⟨hal-00954226⟩
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