Sensitivity optimization of silicon microcantilever-based density sensor for hydrogen detection
Mohand-Tayeb Boudjiet
(1)
,
Johan Bertrand
(2)
,
Laurent Mazenq
(3)
,
Thierry Leichle
(4)
,
Fabrice Mathieu
(5)
,
Liviu Nicu
(4)
,
Claude Pellet
(1)
,
Isabelle Dufour
(1)
1
IMS -
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 ANDRA - Agence Nationale pour la Gestion des Déchets Radioactifs
3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
4 LAAS-NBS - Équipe NanoBioSystèmes
5 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
2 ANDRA - Agence Nationale pour la Gestion des Déchets Radioactifs
3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
4 LAAS-NBS - Équipe NanoBioSystèmes
5 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
Laurent Mazenq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 13970
- IdHAL : laurent-mazenq
- ORCID : 0000-0001-8503-328X
Thierry Leichle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 14826
- IdHAL : thierry-leichle
- ORCID : 0000-0003-3183-8976
- IdRef : 115726268
Fabrice Mathieu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 14784
- IdHAL : fabrice-mathieu
- IdRef : 082980004
Liviu Nicu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 13965
- IdHAL : liviu-nicu
- ORCID : 0000-0002-0124-7465
- IdRef : 125918135
Claude Pellet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182870
- IdHAL : claude-pellet
- ORCID : 0000-0001-6200-7134
- IdRef : 060120886
Isabelle Dufour
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174078
- IdHAL : isabelle-dufour
- ORCID : 0000-0002-1986-1463
- IdRef : 069722633