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Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2010

Impact of electron-beam lithography irregularities across millimeter-scale resonant grating filter performances

Anne Talneau
Fabien Lemarchand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 846494
Anne-Laure Fehrembach
Anne Sentenac
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 836364
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00945088 , version 1 (11-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00945088 , version 1

Citer

Anne Talneau, Fabien Lemarchand, Anne-Laure Fehrembach, Anne Sentenac. Impact of electron-beam lithography irregularities across millimeter-scale resonant grating filter performances. Applied optics, 2010, 49, pp.658. ⟨hal-00945088⟩
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