CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen

Résumé

CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sandrine Pyon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00944810

Soumis le : mardi 11 février 2014-11:33:31

Dernière modification le : jeudi 21 novembre 2024-11:05:36

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00944810 , version 1 (11-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00944810 , version 1

Citer

Amel Zairi, Corinne Nouveau, Alain Iost, Ahmed Ben Cheikh Larbi, Aurélien Besnard, et al.. CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen. CrSiN RF magnetron sputtered thin films realized with pulsed injection of nitrogen, Jan 2013, France. ⟨hal-00944810⟩

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