Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers - Archive ouverte HAL
Autre Publication Scientifique Année : 2013

Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers

Résumé

Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sandrine Pyon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00944591

Soumis le : lundi 10 février 2014-17:31:14

Dernière modification le : jeudi 21 novembre 2024-11:05:36

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00944591 , version 1 (10-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00944591 , version 1

Citer

Aurélien Besnard, Amel Zairi, Corinne Nouveau, Nicolas Martin. Three steps strategy for thin film growth simulation: example of Cr/CrNx multlayers. 2013. ⟨hal-00944591⟩

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