ANL-MEMS : Techniques d'imagerie acoustique non linéaire pour l'étude de la fiabilité des MEMS
Olivier Bou Matar
(1)
,
V. Aleshin
(1)
,
Abdelkrim Talbi
(1)
,
Huan Zhou
(1)
,
Nikolay Chigarev
(2)
,
Vitali Goussev
(2)
,
C. Ni
(2)
,
V. Tournat
(2)
Olivier Bou Matar
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750387
- IdHAL : olivier-bou-matar
V. Aleshin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739164
- IdHAL : vladislav-aleshin
- ORCID : 0000-0002-8933-3367
- IdRef : 204500028
Abdelkrim Talbi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748484
- IdHAL : abdelkrim-talbi
- ORCID : 0000-0002-7200-3636
- IdRef : 076947637
Nikolay Chigarev
- Fonction : Auteur
- PersonId : 857474
Vitali Goussev
- Fonction : Auteur
- PersonId : 833845
- ORCID : 0000-0002-2394-7892
- IdRef : 069510261
V. Tournat
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19974
- IdHAL : vincent-tournat
- ORCID : 0000-0003-4497-5742
- IdRef : 076551326