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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

ANL-MEMS : Techniques d'imagerie acoustique non linéaire pour l'étude de la fiabilité des MEMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00940897 , version 1 (04-02-2014)

Licence

Paternité

Identifiants

  • HAL Id : hal-00940897 , version 1

Citer

Olivier Bou Matar, V. Aleshin, Abdelkrim Talbi, Huan Zhou, Nikolay Chigarev, et al.. ANL-MEMS : Techniques d'imagerie acoustique non linéaire pour l'étude de la fiabilité des MEMS. Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2013, 2013, Marseille, France. ⟨hal-00940897⟩
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