Fundamental theory of resonant MEMS devices - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2015
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00934451 , version 1 (22-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00934451 , version 1

Citer

Stephen Heinrich, Isabelle Dufour. Fundamental theory of resonant MEMS devices. Advanced Micro and Nanosystems: Volume 11: Resonant MEMS, Resonant MEMS : Fundamentals, Implementation and Application (11), Wiley-VCH, pp.3-28, 2015, Advanced Micro and Nanosystems, 978-3-527-33545-9. ⟨hal-00934451⟩
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