Chapitre D'ouvrage
Année : 2015
Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00934451
Soumis le : mercredi 22 janvier 2014-09:33:40
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00934451 , version 1
Citer
Stephen Heinrich, Isabelle Dufour. Fundamental theory of resonant MEMS devices. Advanced Micro and Nanosystems: Volume 11: Resonant MEMS, Resonant MEMS : Fundamentals, Implementation and Application (11), Wiley-VCH, pp.3-28, 2015, Advanced Micro and Nanosystems, 978-3-527-33545-9. ⟨hal-00934451⟩
Collections
37
Consultations
0
Téléchargements