Nanometric resolution with far-field optical profilometry - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Physical Review Letters Année : 2013

Nanometric resolution with far-field optical profilometry

Slimane Arhab
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  • PersonId : 1203166
Institut FRESNEL
Gabriel Soriano
Institut FRESNEL
CV
Yi Ruan
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Institut FRESNEL
Guillaume Maire
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Institut FRESNEL
Anne Talneau
Laboratoire de photonique et de nanostructures
Daniel Sentenac
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European Gravitational Laboratory
Patrick C. Chaumet
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Institut FRESNEL
Kamal Belkebir
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Institut FRESNEL
Hugues Giovannini
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Citer

Slimane Arhab, Gabriel Soriano, Yi Ruan, Guillaume Maire, Anne Talneau, et al.. Nanometric resolution with far-field optical profilometry. Physical Review Letters, 2013, 111, pp.053902. ⟨hal-00931935⟩

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