Couches minces d'ITO élaborées par pulvérisation cathodique RF à température ambiante : influence de l'oxygène - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Couches minces d'ITO élaborées par pulvérisation cathodique RF à température ambiante : influence de l'oxygène

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00906388 , version 1 (19-11-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00906388 , version 1

Citer

Sonia Vigneron, Xavier Castel, Gérard Legeay, Jacques Pinel. Couches minces d'ITO élaborées par pulvérisation cathodique RF à température ambiante : influence de l'oxygène. 2èmes Journées ITS "Systèmes de Transports Intelligents" poster, Jun 2004, Saint Brieuc, France. ⟨hal-00906388⟩
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